中型轿车是中型车一种介于中大型轿车与緊凑型轎車之间的车型，别克君越（Buick LaCrosse）等。中型车这个分类标准与福斯集团（Volkswagen）的中型车车型分类相对应。例如迈腾的中型车1.4TSI，通常被归类为B级车，BMW 3系、凌志IS、帕萨特的1.4TSI等。沃尔沃 S60等。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
迈克·金斯利
JR東海383系電聯車
博卡德爾里奧 (韋拉克魯斯州)
1991年，姚家伟正式跟随父亲学习傩戏，那时这门古老艺术正濒临失传。“我父亲姚克水时常在家小声哼唱，生怕被人听见。”姚家伟回忆道。正是这微弱的声音，点燃了他对傩戏的热爱，也将传承池州傩戏作为自己毕生的使命。
匠心传承，从父亲手中接过傩戏火种
池州傩戏被誉为“戏曲活化石”，保留了宋杂剧、南戏等古老戏曲形态，最初用于民间驱邪纳福、祈求丰收。20世纪60年代，这门古老艺术面临失传危机。
姚家伟出生在傩戏世家，祖辈都是傩戏传承人。在父亲的小声哼唱中，儿时的姚家伟对傩舞傩戏产生了浓厚兴趣。1991年，他正式跟随父亲和其他老艺人学习傩戏。
傩戏表演要求极高，需要通过肢体语言传达情绪，对眼神、身段都有严格标准。学习之初，姚家伟难以领悟技巧，在父亲手把手指导下，他不停地腾挪闪转，磨炼傩舞技艺。傩戏的难点不仅在于动作，更在于唱腔。傩戏唱腔没有曲谱，只有唱本，靠口口相授流传。姚家伟常常捧着剧本背台词到深夜，熟练掌握繁杂冗长的台词。
表演时需要佩戴重逾2斤的木雕面具，固定在脸上，经年累月，姚家伟的脸部都被夹磨破皮。“留存下来的面具都非常珍贵，能佩戴表演已经很难得，每场表演都要尽善尽美。”
为掌握更全面的技艺，姚家伟还练习了傩戏中最难的踩高跷。在反复练习与表演中，他逐渐成长为优秀的傩戏表演者。
抢救整理，让濒临失传的剧目重获新生
为更好地传承傩文化，姚家伟与老一辈共同整理傩戏资料，到各地搜集傩戏唱腔剧本。“那时候听闻哪家有传下来的傩戏剧本，我们就连日去拜访学习。”在他的不懈努力下，《孟姜女》《章文显》《陈州放粮》等许多傩戏被重新挖掘出来。傩戏表演逐渐活跃，从乡土民间走上更高规格的舞台。
2008年2月，姚家伟被文化部命名为国家级非物质文化遗产项目傩戏（池州傩戏）代表性传承人。这是对他多年来努力的最好认可。
培育新苗，让年轻一代接过传承火炬
技艺成熟后，姚家伟思考如何让更多人了解、参与傩戏。从组织人员到傩戏教学，他事无巨细，忙碌不停。
每年正月，他全程参与傩事活动，从前期筹备到演出安排，从台下教学到台上表演，都亲力亲为。多年来，仅正月期间他就表演傩戏300余场。
“姚街村正月傩仪已延续600余年了，每年正月的傩事活动是整个家族最重要的大事。”姚家伟说，“特别是本村的学生们，寒假归来积极投身傩戏练习，我被深深打动。就冲他们这股认真劲，我也要毫无保留地传授所学。”
教学时，姚家伟总是最早到场，将面具、服饰、道具摆放整齐。他先示范整套动作，每一个转身、踏步都力求精准，汗水浸透戏服也毫不懈怠。教“踩罡步”时，见学生记不住复杂舞步，他就用粉笔在地上画出行走路线，自己踩着斑驳的线痕反复走给孩子们看，青石板上渐渐磨出发亮的轨迹。
有学生面具戴歪了，他立刻上前调整系带：“傩面是傩戏的精髓，戴端正了才有威仪。”深夜排练结束后，他总是留下加练的学生，点着灯细说戏文典故。
创新融合，让古老艺术焕发时代生机
为使傩戏更易被大众接受，姚家伟根据传统傩戏剧本《五星会》，新编排了《五星观赏》，充分融合现代元素。他还在《打赤鸟》傩舞表演中创造性改进舞伞动作和唱腔方式，赋予新的时代内涵。
2015年，他应邀参加“中国南昌傩文化艺术周”表演活动，获得“伞舞”金奖和“关公登殿”优秀节目奖。2018年，他远赴法国巴黎参加“原生态意象节”，其表演得到国际友人和文艺界专家的高度肯定。
姚家伟经常组织“送戏进校园”活动，不仅带领团队去往安徽师范大学等高校演出，还深入各乡村学校，让学生们近距离接触傩戏，培养他们对傩戏的兴趣与热情。“牢记使命，一代代延续。这是传承一种精神，一种信仰。”姚家伟说。
他深知队伍年轻化是保护和传承傩戏的关键。这些年来，他以国家级传承人身份在池州市傩戏传习馆教授傩戏，积极参加各类活动宣传傩文化，希望带动更多年轻人走近、了解、传承傩戏。2015年7月，池州市启动非遗“名师带徒”工程，姚家伟作为傩艺培训班老师，参与了6批工程，带出方超、姚新祥等多名徒弟。
夜幕降临，姚街村的傩戏排练场地依然亮着灯。姚家伟抚摸着傩面具上的纹路，仿佛触摸到父亲当年的目光。那些专注与坚守里，流淌着对傩文化的深爱。青石板上发亮的轨迹，不仅是脚步磨出的印记，更是一条连接过去与未来的文化之路。“只要还有人愿意学，我就会一直教下去。”姚家伟说这话时，眼神坚定如初。 （马泽冰）
" alt="姚家伟：三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生">姚家伟：三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生
塞內加爾擬牙䱛
吉尔罗伊 (加利福尼亚州)
奧夫雷貢城
这是一款以变成鬼魂的少女为主角的，选择指令式的冒险游戏。 通过与心爱的“他”进行各种各样的互动，实现她的愿望是游戏的目标。具体来说，可以和他对话、引发诡异现象、出现在梦中、施加诅咒等。
有一天，你变成了鬼魂。虽然不知道接下来该怎么办才好， 但你从来没做过亏心事， 一定可以去天国吧。 你对此坚信不疑。但是，kimi没有看见你。 kimi从来没有忽视过你。 你突然觉得，有点害怕去天国了。
天国就算再好，如果没有kimi， 那一定就是个比地獄更惨的地方。kimi没有看见你。 既然我不能去见kimi…… 那就让kimi来见我吧。在天国之门开启之前， 我一定要把kimi带到我这边来。我要杀了我最喜欢的kimi。
" alt="像素风点击式冒险《亡灵装饰》4月17日登陆主机平台">像素风点击式冒险《亡灵装饰》4月17日登陆主机平台
金星奖
上海世博公园
特命戰隊Go Busters THE MOVIE 保護東京Enetower!
这是一场属于整个广东的篮球盛宴——全省21城集结出战，125场高强度对决，从春天打到盛夏，一路燃到8月。本土球王同场竞技，城市荣誉正面交锋，节奏、对抗、爆发力全面拉满。
21城已就位，这场球，不只是比赛，更是城市之间的较量。
这一次，你站谁？
统筹：李琳 朱景新化丘陵
(资料图)
几十幅作品映入眼帘，半个世纪前坦赞铁路呼啸而过时的风仿佛再次吹回了这里。熙熙攘攘的人群中，一位老人突然停住脚步。他叫索罗蒙·姆瓦卡桑加，今年73岁，1970年参加坦赞铁路建设工作，几乎把一生都交给了这条钢铁大动脉。
11月26日，在坦桑尼亚达累斯萨拉姆，坦赞铁路退休职工索罗蒙·姆瓦卡桑加在“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”上认出画中的自己。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）
我跟着他的脚步，在不同的记忆画面间穿梭。
老照片展区，姆瓦卡桑加指着中国工人和坦桑工人一起工作和生活的照片，轻声说：“中国兄弟们不要求特殊照顾，我们吃一样的清汤和玉米糊，住在同样的工地里。”
说这句话时，他的声音里似乎有一种淡淡的骄傲——那是属于亲历者的、无人能替代的情感。
在另一幅表现中坦工人合力铺轨的画作前，他突然笑了：“你看这个动作——那是我们当年发明的‘铁路语言’。”他说，中坦工人当年语言不通，为了安全，大家用斯瓦希里语加中文的混合手势来指挥施工，“喊一句、比一下”，增加干劲，还能减少风险。
老人抬手指向另一幅画——画中的几个坦桑工人站在“东方红”机车旁，笑容爽朗。姆瓦卡桑加看着画里的人，眼眶微微泛红。这时，又有几位老工人靠了过来，彼此交换着只有他们听得懂的回忆。
这是11月26日在坦桑尼亚达累斯萨拉姆拍摄的“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”开幕式。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）
人群另一侧，50岁的坦桑尼亚艺术家弗雷德·哈拉站在自己的作品前。他在铁路旁长大，对轨道的金属光泽和车站的喧哗再熟悉不过。画里的铁路在暮色下延伸，线条刚劲。他说，每一幅画都是时代的见证，“一条铁路连接了国家，也连接了人”。
坦桑尼亚女大学生萨洛梅在一幅画前驻足良久。画面描绘的是经过村庄的客车车厢，孩子们追着火车跑，笑得灿烂。她轻轻说：“我父亲小时候就是这样跑着看火车的。”她举起手机拍下画面，随后又站了好一会儿，像是把那段未曾亲历却深深感到的记忆放进心里。
策展人、来自中国国家博物馆的谭斐说，展厅从灯光角度到墙体色彩再到叙事动线，都经过反复推敲：“我们希望观众不仅是看展，而是走进历史。”她指着墙上一张张中国工人和坦桑尼亚工人一起生活和工作的照片说：“这是坦赞铁路精神最真实的部分。”
坦桑尼亚自然资源和旅游部长阿莎图·卡奇万巴·基贾吉把展厅称为“一间活着的教室”。她说，坦赞铁路不仅改变了坦赞两国的命运，也记录了非中人民共同面对困难时的勇气。
中国驻坦桑尼亚大使陈明健动情地说，在坦赞寻求建铁路的年代，虽然当时的中国还不富裕，却毅然伸出援手，派出了五万余名工程师和技术人员。建成50年来，坦赞铁路始终是中非友谊的丰碑。
11月26日，在坦桑尼亚达累斯萨拉姆，坦赞铁路退休职工在“同路朋友——坦赞铁路采风绘画展”上合影。新华社发（赫尔曼·埃马纽埃尔摄）
铸成这座友谊丰碑的，是许多把生命留在这片土地的中国工人，是第一次坐上火车回乡的赞比亚人，是那些在山谷里架桥、在原始森林里铺轨的劳动者。他们没有站上过受人瞩目的历史舞台，但却共同标注了浓墨重彩的历史印记。
走出展厅时，夜幕已经完全落下。博物馆外，树影在灯光下被拉得很长，像铁轨一样延伸向远处。回头望去，展厅里仍灯火通明，老工人站在画前，年轻人站在他们身后，不同的时代仿佛在同一束光下重叠。
半个多世纪前，中坦赞三国的建设者在山谷与密林中合力铺就这条铁路；半个多世纪后，又有新的中非同行者在这座展厅里重新把这段记忆点亮、传递。
离开展厅时，姆瓦卡桑加坐在一张长椅上，手里攥着展览册子。他告诉我，这些画让他再次相信，“坦赞铁路的故事，还远远没有讲完”。
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" alt="记者手记丨“坦赞铁路的故事，还远远没有讲完”">记者手记丨“坦赞铁路的故事，还远远没有讲完”蘭氏副矛鰭石首魚
国庆、中秋假期期间，琅琊山风景区多措并举，联合多家单位，紧扣“人人都是迎客松”主题，广泛开展安徽文旅志愿服务活动。
假日期间，来自市文化和旅游局、琅琊区古道社区、南谯区徐岗社区等单位的志愿者身穿红马甲、肩披红绶带、佩戴“人人都是迎客松”徽章，配合景区文明旅游志愿者，向市民游客耐心解答咨询提问、主动提供应急帮扶，协助工作人员维持秩序，疏导客流。与此同时，在旅游不文明行为易发频发区域，他们通过不间断巡查，及时劝导和制止各类旅游不文明行为，引导大家自觉遵守和维护公共秩序。
此外，志愿者还围绕主题，在景区入口向市民游客发放《中国公民文明旅游公约》《文明旅游十大提醒语》等宣传资料，进一步增强大家的文明旅游意识，倡导文明旅游是最美的风景，持续擦亮国家5A级旅游景区文明底色。（郝俊媛 张 倩 赵忠莉）
" alt="琅琊山风景区志愿者助力文明旅游">琅琊山风景区志愿者助力文明旅游2006年5月逝世人物列表
